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NEDOプロジェクト

MRAMの開発及び出荷テストに用いる、磁気特性・電気特性評価装置の開発

　本テーマでは、新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）の「中堅・中小企業への橋渡し研究開発促進事業」において、「MRAMの開発及び出荷テストに用いる、磁気特性・電気特性評価装置の開発」（PL：株式会社東栄科学産業、橋渡し研究機関代表者：遠藤 哲郎教授）に取り組んでいます。近年、爆発的な電気エネルギーの増大が大きな社会問題となっており、この電力消費を飛躍的に削減させる切り札としてMRAMが期待されています。このMRAMを研究開発フェーズから量産フェーズに移行する為には、その出荷テスティング装置が不可欠です。本事業では、磁場環境下におけるMRAMの出荷テストが可能となる一連の電磁気特性評価装置システム(300ｍｍウェハ対応)を開発し、MRAMの社会実装に資することを目標としています。