東北大学 国際集積エレクトロニクス研究開発センター

東北大学

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2017年度

図書

1 T. Shinada, E. Prati, and T. Tanii,
"Deterministic single-ion implantation method for quantum processing in silicon and diamond" in "Integrated Nanodevice and Nanosystem Fabrication - Materials, Techniques, and New Opportunities-" edited by Simon Deleonibus (CEA Grenoble, France),
Pan Stanford Publishing, 2017/10/31